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負(fù)膠顯影液PGMEA(丙二醇甲醚醋酸酯)作為負(fù)膠顯影工藝中的關(guān)鍵溶劑,在微電子制造中發(fā)揮著重要作用。
正膠顯影液TMAH 四甲基氫氧化銨 能選擇性地溶解未曝光的光刻膠,留下已曝光部分形成所需的圖形,從而將掩膜版上的圖案精確轉(zhuǎn)移到硅片等襯底材料上。同時(shí),它還可用于硅片的濕法刻蝕,對(duì)硅等材料進(jìn)行腐蝕加工,制作微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)結(jié)構(gòu),如加速度計(jì)、壓力傳感器等。
PMMA 聚甲基丙烯酸甲酯 是一種用途廣泛的聚合物,適用于多種成像和非成像微電子應(yīng)用。它常被用作電子束直寫(xiě)、X 射線和深紫外光刻工藝中的高分辨率正性光刻膠,也可用作晶圓減薄的保護(hù)涂層、鍵合粘合劑以及犧牲層。
PDMS預(yù)聚物聚二甲硅氧烷與固化劑套件。型號(hào):184,品牌:道康寧,產(chǎn)地:美國(guó),成分PDMS 和固化劑,混合比例:10:1。
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